Effect of Substrate Temperature on Epitaxial Orientation of Rh Thin Films Sputtered on A-Plane Sapphire
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2006-09-15
著者
-
佐々木 克孝
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
阿部 良夫
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
Sasaki K
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
ABE Yoshio
Department of Materials Science, Kitami Institute of Technology
-
SASAKI Katsutaka
Department of Materials Science, Kitami Institute of Technology
-
KATO Kiyohiko
Department of Materials Science, Faculty of Engineering, Kitami Institute of Technology
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