21pXK-4 回折限界を超えた量子リソグラフィーの実証実験II(量子エレクトロニクス(量子光学),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2007-02-28

著者

• 岡本 亮

  北大電子研:阪大産研:阪大基礎工

• 竹内 繁樹

  北海道大学電子科学研究所

• 竹内 繁樹

  北大電子研:阪大産研

• 岡本 亮

  北海道大学電子科学研究所 大阪大学産業科学研究所

• 岡本 亮

  北海道大学電子科学研究所

• 藤原 英樹

  北海道大学電子科学研究所

• 笹木 敬司

  北海道大学電子科学研究所

• Sasaki K

  Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation

• Sasaki K

  Department Of Electrical And Computer Engineering Kanazawa University

• 川辺 喜雄

  北海道大学電子科学研究所

• Sasaki Kimihiro

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• Sasaki Koichi

  Department Of Electronics Nagoya University

• Sasaki Koh

  Institute For Materials Research Tohoku University

• 竹内 繁樹

  北海道大学

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