26aRB-9 回折限界を超えた量子リソグラフィーの実証実験(26aRB 量子エレクトロニクス(量子光学),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2006-08-18
著者
-
竹内 繁樹
北海道大学電子科学研究所
-
藤原 英樹
北海道大学電子科学研究所
-
笹木 敬司
北海道大学電子科学研究所
-
Sasaki K
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Sasaki K
Department Of Electrical And Computer Engineering Kanazawa University
-
川辺 喜雄
北海道大学電子科学研究所
-
Sasaki Kimihiro
Graduate School Of Natural Science And Technology Kanazawa University
-
Sasaki Koichi
Department Of Electronics Nagoya University
-
Sasaki Koh
Institute For Materials Research Tohoku University
-
竹内 繁樹
北海道大学
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