C-Axis-Oriented Ru Thin Fillns Prepared by Sputtering in Ar and O_2 Gas Mixture : Surfaces, Interfaces, and Films
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2001-12-15
著者
-
佐々木 克孝
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
阿部 良夫
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
笹木 敬司
北海道大学電子科学研究所
-
Sasaki K
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Abe Yuji
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Abe Y
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo Jpn
-
ABE Yoshio
Department of Materials Science, Kitami Institute of Technology
-
KAWAMURA Midori
Department of Materials Science, Kitami Institute of Technology
-
SASAKI Katsutaka
Department of Materials Science, Kitami Institute of Technology
-
KAGA Yukinao
Department of Materials Science, .Faculty of Engineering, Kitami Institute of Technology
-
Abe Yoichi
Department Of Applied Science Tokyo Electrical Engineering College
-
Sasaki Kimihiro
Graduate School Of Natural Science And Technology Kanazawa University
-
Kamijyo Masahiro
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
Abe Yoshio
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
Kaga Yukinao
Department Of Materials Science .faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
川村 みどり
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
Sasaki Koh
Institute For Materials Research Tohoku University
-
Sasaki Katsutaka
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Techn
-
Kawamura Midori
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
Abe Yoshio
Department of Materials Science and Engineering, Faculty of Engineering, Kitami Institute of Technology, 165 Koen-cho, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan
-
Kawamura Midori
Department of Materials Science and Engineering, Kitami Institute of Technology, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan
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