低化成電圧で作製したAl_3Hf陽極酸化膜キャパシタの熱劣化機構
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概要
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30V化成したAl_3Hf陽極酸化膜キャパシタの, 熱劣化の原因をオージェ電子分光分析によって検討した.その結果, Al上部電極 / 陽極酸化膜界面が崩壊することにより, 金属状態のAlが陽極酸化膜中でわずかにつながった状態になるために, キャパシタが短絡することがわかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-07-25
著者
-
佐々木 克孝
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
阿部 良夫
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
尾関 雅彦
松尾電機株式会社
-
佐々木 克孝
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
柳沢 英人
北見工業大学工学部能材料工学科
-
阿部 良夫
北見工業大学工学部能材料工学科
-
川村 みどり
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
山根 美佐雄
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
柳沢 英人
北見工業大学
-
Abe Yuji
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Abe Y
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo Jpn
-
Abe Yoichi
Department Of Applied Science Tokyo Electrical Engineering College
-
Kamijyo Masahiro
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
阿部 良夫
北見工業大学マテリアル工学科
-
川村 みどり
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
佐々木 克孝
北見工業大学
-
川村 みどり
北見工業大学マテリアル工学科
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