Alメタライゼーション系におけるAl_12Mo/Mo積層膜の拡散バリヤ効果
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-03-06
著者
-
大石 直也
北見工業大学工学部機能材料工学科 : (現)大倉電気株式会社
-
佐々木 克孝
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
阿部 良夫
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
佐々木 克孝
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
柳沢 英人
北見工業大学工学部能材料工学科
-
阿部 良夫
北見工業大学工学部能材料工学科
-
柳沢 英人
北見工業大学
-
Abe Yuji
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Abe Y
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo Jpn
-
伊藤 ひろみ
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
阿部 良夫
北見工業大学マテリアル工学科
-
佐々木 克孝
北見工業大学
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