Preparation of PtO and α-PtO_2 Thin Films by Reactive Sputtering and Their Electrical Properties
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概要
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Pt oxide thin films are prepared by sputtering Pt target in an atmosphere containing Ar and O_2 gases. Polycrystalline PtO and α-PtO_2 films are obtained in O_2 flow ratio regions of 30-50% and 80-100%, respectively, at a substrate temperature of 300℃. Electrical resistivity of the PtO film is found to be 1-2 mΩcm and shows almost no temperature dependence. The metallic character of the PtO film is assumed to be suppressed by its poor crystallinity. The α-PtO_2 film has a large resistivity of approximately 1 Ωcm with a negative temperature coefficient, which indicates semiconducting characteristics. Thermal stability of PtO and α-PtO_2 films in air and in vacuum is studied. These films are stable up to 500℃ and 250℃ in air and in vacuum, respectively, and are reduced to Pt above these temperatures.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1999-04-15
著者
-
阿部 良夫
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
笹木 敬司
北海道大学電子科学研究所
-
Abe Yuji
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Abe Y
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo Jpn
-
ABE Yoshio
Department of Materials Science, Kitami Institute of Technology
-
KAWAMURA Midori
Department of Materials Science, Kitami Institute of Technology
-
SASAKI Katsutaka
Department of Materials Science, Kitami Institute of Technology
-
Kamijyo Masahiro
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
Abe Yoshio
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
川村 みどり
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
Sasaki Katsutaka
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Techn
-
Kawamura Midori
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
Abe Yoshio
Department of Materials Science and Engineering, Faculty of Engineering, Kitami Institute of Technology, 165 Koen-cho, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan
-
Kawamura Midori
Department of Materials Science and Engineering, Kitami Institute of Technology, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan
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