C-6-2 低温作製されたスパッタ-SiN_x膜のカバレージ特性(C-6.電子部品・材料,一般セッション)

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概要

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• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 2014-03-04

著者

• 中村 友二

  富士通研究所

• 小林 靖志

  富士通研究所

• 中田 義弘

  富士通研究所

• 武山 真弓

  北見工業大学

• 野矢 厚

  北見工業大学

• 佐藤 勝

  北見工業大学

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