裏面Ti堆積によるC49-C54 TiSi_2相転移の促進と低抵抗微細電極の形成
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概要
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- 1995-11-30
著者
-
中嶋 一雄
(株)富士通研究所
-
中村 友二
富士通研究所
-
池田 和人
富士通研究所
-
池田 和人
(株)富士通研究所
-
中村 友二
(株)富士通研究所
-
高木 英雄
富士通(株)
-
川村 和郎
(株)富士通研究所
-
大田 譲
富士通(株)
-
渡辺 潔
富士通(株)
-
川村 和郎
富士通研究所
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