TEMによるスパッタTiN膜の結晶粒構造とち密性の評価
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概要
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- 1995-11-14
著者
-
中嶋 一雄
(株)富士通研究所
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中村 友二
富士通研究所
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中村 友二
(株)富士通研究所
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ホッブス アンソニー
(株)富士通研究所
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アンソニー ホッブス
株式会社富士通研究所Cプロジェクト
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ホッブス アンソニー
株式会社富士通研究所cプロジェクト
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