Cu表面保護膜としてのAl-Nb合金薄膜の酸化特性(簿膜プロセス・材料,一般)
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概要
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Cu表面に堆積したAl-Nb合金膜(50nm)のmetal capping Iayerとしての酸化特性をオージェ電子分光ならびにX線光電子分光により調べた。表面でA1-Nb合金中のAlの選択酸化が起こり、内部のNbおよびCuを酸化から保護することが判った。500℃1時間の酸化処理後も、CuはAl_2O_3層から排斥され、また、Cu中へのNbの拡散も起こらず、Cuは金属状態のまま保持されることが確認され、Al-Nb合金膜は有効な表面保護膜となることが判った。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-10-17
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