有機ケイ素化合物を用いたSiC成長初期過程の再評価とCVD法への応用
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概要
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- 2003-11-03
著者
-
成田 克
山形大学工学部
-
森山 学
長岡技術科学大学
-
安井 寛治
長岡技術科学大学
-
成田 克
長岡技術科学大学
-
森本 貫太郎
長岡技術科学大学工学部電気系
-
原島 正幸
長岡技術科学大学工学部電気系
-
成田 克
山形大学
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