C-6-20 ヘリカルアンテナにより励起したNH_3プラズマによるGaAs表面窒化特性
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-03-07
著者
-
赤羽 正志
長岡技術科学大学
-
安井 寛治
長岡技術科学大学
-
金内 海
長岡技術科学大学工学部電気系
-
熊沢 謙太郎
長岡技術科学大学工学部
-
荒山 達朗
長岡技術科学大学電気系
-
熊澤 謙太郎
長岡技術科学大学
-
荒山 達朗
長岡技術科学大学
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