第三電極を有するRFマグネトロンスパッタ法によるZnO透明導電膜特性の均一性評価(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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我々は第三電極を有するrfマグネトロンスパッタ法により作製したAlドープ酸化亜鉛について研究をしてきた。マグネトロンスパッタ法では、ターゲットの***ージョン部からの高エネルギー荷電粒子の入射により基板面内の膜の不均一化が生じるという問題がある。そこで、プラズマダメージを抑える適切な負バイアスを第三電極に印加することにより結晶性の改善を達成した。また抵抗率、キャリヤ密度およびホール移動度のような電気的特性の均質性も改善された。第三電極を挿入し、適切な負バイアスを印加することで、抵抗率のばらつきを20%以下に抑制できることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-11-09
著者
-
高田 雅介
長岡技術科学大学電気系
-
高田 雅介
長岡技科大
-
赤羽 正志
長岡技術科学大学
-
安井 寛治
長岡技術科学大学
-
黒木 雄一郎
長岡技術科学大学電気系
-
片桐 裕則
長岡工業高等専門学校 電気工学科
-
片桐 裕則
長岡工業高等専門学校
-
朝野 章
長岡技術科学大学
-
片桐 裕則
長岡工高専
-
高田 雅介
長岡技術科学大学
-
黒木 雄一郎
長岡技術科学大学工学部
-
片桐 裕則
長岡工業高専
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