C-6-5 Hot-Mesh CVD法を用いたSiCOI構造形成とMEMS応用(C-6.電子部品・材料,一般講演)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-03-07
著者
-
宮口 孝司
新潟県工業技術総合研究所レーザー・ナノテク研究室
-
高田 雅介
長岡技術科学大学電気系
-
高田 雅介
長岡技科大
-
赤羽 正志
長岡技術科学大学
-
安井 寛治
長岡技術科学大学
-
安部 和貴
長岡技術科学大学電気系
-
黒木 雄一郎
長岡技術科学大学電気系
-
三浦 仁嗣
長岡技術科学大学
-
佐藤 健
新潟県工業技術総合研究所レーザー・ナノテク研究室
-
高田 雅介
長岡技術科学大学
-
黒木 雄一郎
長岡技術科学大学工学部
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