N_2/O_2雰囲気中でスパッタしたSnO_2薄膜の結晶構造とガス感度特性
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概要
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The usage of mixed N_2/O_2 gas in the preparation of tin oxide thin films by sputtering was examined in order to clarify the relationship between the resulting crystal structure and the H_2 gas sensing properties. The formation of single-phase SnO_2 and the degree of preferential orientation of the (110) plane were improved by increasing the oxygen concentration in the sputtering gas. A higher gas sensitivity was observed in films having higher degrees of the orientation of the (110) plane, and the maximum sensitivity was increased by about 1.5 times of that for the film prepared in Ar/O_2 atmosphere.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1992-12-01
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