CS-6-5 ホットメッシュCVD法によるSiC結晶膜の低温成長(CS-6.薄膜の高機能発現をともなう低温成膜技術の最前線,シンポジウム)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-03-08
著者
-
高田 雅介
長岡技術科学大学電気系
-
高田 雅介
長岡技科大
-
赤羽 正志
長岡技術科学大学
-
安井 寛治
長岡技術科学大学
-
黒木 雄一郎
長岡技術科学大学電気系
-
三浦 仁嗣
長岡技術科学大学
-
栗本 大詩
長岡技術科学大学
-
栗本 大詩
長岡技術科学大学 工学部 電気系
-
高田 雅介
長岡技術科学大学
-
黒木 雄一郎
長岡技術科学大学工学部
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