C-6-2 3C-SiC成長初期段階におけるSi(001)上でのMMSiの表面反応過程の観察
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-08-20
著者
-
成田 克
山形大学工学部
-
赤羽 正志
長岡技術科学大学
-
安井 寛治
長岡技術科学大学
-
原島 正幸
長岡技術科学大学
-
成田 克
長岡技術科学大学
-
原島 正幸
長岡技術科学大学工学部電気系
-
犬伏 宗和
長岡技術科学大学
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