C-6-4 MMSi を用いた 3C-SiC 成長初期における表面反応過程

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2003-09-10

著者

• 森山 学

  長岡技術科学大学

• 赤羽 正志

  長岡技術科学大学

• 安井 寛治

  長岡技術科学大学

• 原島 正幸

  長岡技術科学大学

• 原島 正幸

  長岡技術科学大学工学部電気系

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