有機ケイ素化合物を用いたSiCヘテロエピタキシャル成長

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2005-06-10

著者

• 成田 克

  山形大学工学部

• 赤羽 正志

  長岡技術科学大学

• 安井 寛治

  長岡技術科学大学

• 成田 克

  長岡技術科学大学

• 成田 克

  山形大学

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