Si基板上SiC極薄膜の低温形成とユビキタスデバイスへの応用
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概要
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- 2006-10-03
著者
-
成田 克
山形大学工学部
-
末光 眞希
東北大学電気通信研究所
-
遠藤 哲郎
東北大学電気通信研究所
-
伊藤 隆
東北大学際セ
-
遠藤 哲郎
東北大学学際科学国際高等研究センター
-
伊藤 隆
東北大学電気通信研究所
-
中澤 日出樹
弘前大学大学院理工学研究科
-
安井 寛治
長岡技術科学大学
-
中澤 日出樹
弘前大学理工学部
-
伊藤 隆
東北大学学際科学国際高等研究センター
-
成田 克
九州工業大学工学部
-
今野 篤史
東北大学
-
末光 眞希
東北大学
-
伊藤 隆
東北大学大学院工学研究科
-
遠藤 哲郎
東北大学
-
伊藤 隆
東北大学・学際科学国際高等研究センター
-
中澤 日出樹
弘前大学
-
成田 克
山形大学
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