C-11-8 3 次元構造 Surrounding Gate Transistor (SGT) の下部拡散層形状解析方法の提案
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-03-03
著者
-
舛岡 富士雄
東北大学電気通信研究所
-
桜庭 弘
東北大学電気通信研究所
-
遠藤 哲郎
東北大学電気通信研究所
-
山本 安衛
東北大学電気通信研究所
-
日置 雅和
東北大学電気通信研究所
-
遠藤 哲郎
東北大学 電気通信研究所
-
遠藤 哲郎
明治大学理工学部電子通信工学科
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