Multi-SCTの高速動作に関する解析
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概要
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本論文ではMulti-Pillar Sorrounding Gate Transistor (M-SGT)の高速動作に関する解析を行った. まず, M-SGTにおけるゲートチャネル間容量と駆動電流の解析式を初めて導出した. この解析式より, M-SGTはその分割数を増加することで高速に動作できることを定量的に明らかにした.
- 1997-08-25
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