SGTのパンチスルー抑制を指向した凹型ソースSGT
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概要
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本論文ではパンチスルーを抑制できる新しい凹型ソースSGTを提案する.凹型ソースSGTは従来のSCT試作プロセスを用いることで実現でき,パンチスルー電圧を従来のSGTに比べ23%増加できる.
- 2003-02-01
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