高周波マグネトロンスパッタリング法により作製したダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の構造と熱的安定性

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2003-07-10

著者

• 末光 眞希

  東北大学電気通信研究所

• 遠田 義晴

  弘前大学理工学部

• 中澤 日出樹

  弘前大学大学院理工学研究科

• 中澤 日出樹

  弘前大学理工学部

• 真下 正夫

  弘前大学理工学部

• 三上 尊正

  弘前大学理工学部

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