シランを用いたシリコンガスソースMBEの成長機構 : エピタキシーI
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1990-07-20
著者
-
末光 眞希
東北大学電気通信研究所
-
宮本 信雄
東北大学電気通信研究所
-
末光 眞希
東北大・通研
-
広瀬 文彦
東北大・通研
-
宮本 信雄
東北大・通研
-
宮本 信雄
東北大通研
-
宮本 信雄
東北学院大 工
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