有機シランガスを用いたSi 基板上シングルドメイン SiC 薄膜の形成メカニズム

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2003-07-10

著者

• 末光 眞希

  東北大学電気通信研究所

• 中澤 日出樹

  弘前大学大学院理工学研究科

• 中澤 日出樹

  弘前大学理工学部

• 真下 正夫

  弘前大学理工学部

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