原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化
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概要
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KrFエキシマレーザーを用いたレーザーアブレーション法によりSi基板上にダイヤモンドライクカーボン(diamond-like carbon;DLC)膜を作製し、原子状水素を照射して膜表面の化学結合・電子状態および構造の変化を調べた。膜表面の化学結合・電子状態および構造は、それぞれシンクロトロン放射光を用いた光電子分光(photoelectron spectroscopy;PES)およびラマン分光により調べた。C 1sおよび価電子帯PESスペクトルから、原子状水素の照射時間の増加に伴い基板温度400℃では膜表面のsp^3成分は増加し、700℃ではsp^3成分は減少することがわかった。また、400℃においても表面近傍の膜内部ではsp^2炭素のクラスタリングが進行していることがわかった。
- 2009-08-03
著者
-
末光 眞希
東北大学電気通信研究所
-
遠田 義晴
弘前大学理工学部
-
中澤 日出樹
弘前大学大学院理工学研究科
-
中澤 日出樹
弘前大学理工学部
-
末光 眞希
東北大通研
-
遲澤 遼一
弘前大学理工学部
-
奥崎 知秀
弘前大学理工学部
-
佐藤 直之
弘前大学理工学部
-
末光 真希
東北大学電気通信研究所
-
遲澤 遼一
弘前大学大学院理工学研究科
-
中澤 日出樹
弘前大学
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