不活性ガスカ-テン燃焼炎法によるダイヤモンド薄膜形成中の燃焼炎電流

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概要

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• 東北工業大学の論文

著者

• 末光 眞希

  東北大学電気通信研究所

• 阿部 俊三

  東北工業大学工学部知能エレクトロニクス学科

• 大羽 克彦

  東北工大

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