ジメチルシランを用いた Si 表面での SiC 成長初期過程

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2001-09-10

著者

• 成田 克

  山形大学工学部

• 赤羽 正志

  長岡技術科学大学

• 安井 寛治

  長岡技術科学大学

• 成田 克

  長岡技術科学大学

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