C-6-12 ヘリカルアンテナを用いた窒素及びアンモニアプラズマの特性と半導体表面窒化特性

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2001-08-29

著者

• 赤羽 正志

  長岡技術科学大学

• 安井 寛治

  長岡技術科学大学

• 岡 真一郎

  長岡技大工

• 金内 海

  長岡技術科学大学工学部電気系

• 熊沢 謙太郎

  長岡技術科学大学工学部

• 岡 真一郎

  長岡技術科学大学工学部

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