熊沢 謙太郎 | 長岡技術科学大学工学部
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概要
関連著者
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著作論文
- ヘリカルアンテナ励起窒素及びアンモニアプラズマの特性と半導体表面窒化特性
- C-6-12 ヘリカルアンテナを用いた窒素及びアンモニアプラズマの特性と半導体表面窒化特性
- C-6-20 ヘリカルアンテナにより励起したNH_3プラズマによるGaAs表面窒化特性