金内 海 | 長岡技術科学大学工学部電気系
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概要
関連著者
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赤羽 正志
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安井 寛治
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金内 海
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熊澤 謙太郎
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荒山 達朗
長岡技術科学大学
著作論文
- C-6-12 ヘリカルアンテナを用いた窒素及びアンモニアプラズマの特性と半導体表面窒化特性
- Hot-wire CVD法を用いた立方晶窒化ガリウムのエピタキシャル成長
- C-6-1 Hot-Wireを用いたGaAs表面窒化とc-GaNのエピタキシャル成長
- C-6-2 ホットフィラメントCVD法によるGaAs窒化層上へのc-GaNエピタキシャル成長
- C-6-20 ヘリカルアンテナにより励起したNH_3プラズマによるGaAs表面窒化特性