4価元素をドープした石英薄膜における可視光スペクトル
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概要
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4価元素を添加した石英(SiO_2ガラス)薄膜では,分極に伴う圧電性や焦電性の発現のほか,紫外光照射による可視光のルミネセンスが観測されている.筆者らは,石英薄膜にドープする4価元素と発光色に関する検討を行った.さらに発光特性の改善等を図るため,ドープ元素を複合化(2種類以上のドーパントを同時スパッタして薄膜を形成)した場合の発光について,紫外線の吸収や可視光スペクトルについて実験的な検討を行った.膜形成にはRFマグネトロンスパッタリング法を用いた.シリカ板ターゲット上に,ゲルマニウム,チタンおよび二酸化スズ等のペレットを適当量配置した.254nmの紫外光を照射すると,それぞれ青,薄青,橙の発光を示した.これらのことから,石英薄膜をベースとした4価元素ドープによるシリカ薄膜は新しい光デバイスの材料として期待できる.
- 2009-08-03
著者
-
野毛 悟
神奈川工科大学
-
野毛 悟
沼津工業高等専門学校電気電子工学科
-
宇野 武彦
神奈川工科大学電気電子工学科
-
安井 寛治
長岡技術科学大学
-
宇野 武彦
神奈川工科大
-
宇野 武彦
神奈川工科大学工学部電気電子情報工学科
-
宇野 武彦
神奈川工科大学電気電子情報工学科
-
野毛 悟
沼津工業高等専門学校
-
字野 武彦
神奈川工科大学 電気電子工学科
-
野毛 悟
沼津工業高専電気電子工学科
-
野毛 悟
沼津工業高専 電気電子工学科
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