シリカ系誘電体超構造薄膜の諸特性(圧電デバイス・材料, 強誘電体材料, 有機エレクトロニクス, 一般)
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概要
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我々は、異なる4価の元素をドープしたシリカ系薄膜を各々数ナノオーダーの極薄膜として、周期的に積層し形成した誘電体超構造薄膜を提案し、圧電性、可視発光等の特性について検討を行っている。薄膜はRFマグネトロンスパッタによって製膜する。従来、ドープ材料として、ゲルマニウムおよびチタンの金属ペレット、スズの酸化物ペレットを用いていた。今回、全てのドープ材料を酸化物ペレットとした場合の特性について検討を行った。超構造薄膜の圧電性が分極に起因することを確認するために、異常光起電圧効果および焦電効果に着目し検討を行った。シリカ系誘電体超構造薄膜は、圧電性の安定化に有効であるだけでなく、紫外光を照射することにより可視光を発光する。さらに、薄膜に熱処理を施すことにより、発光強度が増大することがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-06-17
著者
-
野毛 悟
神奈川工科大学
-
野毛 悟
沼津工業高等専門学校電気電子工学科
-
宇野 武彦
神奈川工科大
-
霜鳥 寛崇
神奈川工科大学 電気電子工学科
-
藤塚 俊
神奈川工科大学 電気電子工学科
-
藤塚 俊
神奈川工科大学電気電子情報工学科
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