Snをドープしたシリカガラス薄膜の可視発光特性
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概要
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RFマグネトロンスパッタ法を用いてSnドープ石英ガラス薄膜をSiO_2基板上に作成し,可視発光を観測した.サンプルについてドープ量,スパッタパワー,成膜時間,スパッタガスの酸素量といった成膜条件が発光スペクトルや強度に及ぼす影響,熱処理の効果などを検討した.作成したサンプルは肉眼による観察を行い,その後発光スペクトルや吸収スペクトルを測定した,サンプルは青もしくは白色に発光し,発光スペクトルのピークは450nm付近であった.吸収スペクトルのピークは200nmであった.
- 2010-07-22
著者
-
野毛 悟
沼津工業高等専門学校電気電子工学科
-
望月 翔太
沼津工業高等専門学校
-
望月 翔太
沼津高専専攻科
-
野毛 悟
沼津工業高等専門学校
-
野毛 悟
沼津工業高専電気電子工学科
-
野毛 悟
沼津工業高専 電気電子工学科
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