コンタクトエピタキシャル法による酸化物結晶薄膜の形成(酸化物,酸化物エレクトロニクス,一般)
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概要
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著者等は機能性薄膜の形成方法の1つとして,非晶質膜上への単結晶薄膜形成法について検討を続けている.グラフォエピタキシャル成長法なども研究されているが課題の解決には至っていない.本報告は,SiO_2のような非晶質基板上への薄膜単結晶形成方法を提案するものである.提案手法は,酸化物結晶薄膜形成時における下地基板への依存性という課題を解決する一つの方法として有効であると考えられる.
- 2012-06-15
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