ベータ相水晶による高温用精密温度センサの検討(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
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概要
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水晶は極めて安定な圧電材料であり,安定で小型な周波数制御デバイスに広く用いられている.水晶振動子の特性は結晶の切断方位や振動のモードに依存し,周波数温度特性は常温付近ではよく研究されている.一方573℃以上の高温域(β相)での研究はほとんど見当たらず、その応用は皆無と言ってよい。本論文では,β水晶が1,300℃の高温まで共振が得られることを示し、圧電振動に関連する定数の測定結果を報告するとともに、高精度の温度センサとして有用であることを示す。
- 2010-08-19
著者
-
野毛 悟
神奈川工科大学
-
野毛 悟
沼津工業高等専門学校電気電子工学科
-
宇野 武彦
神奈川工科大学電気電子工学科
-
宇野 武彦
神奈川工科大
-
宇野 武彦
神奈川工科大学工学部電気電子情報工学科
-
宇野 武彦
神奈川工科大学電気電子情報工学科
-
野毛 悟
沼津工業高等専門学校
-
字野 武彦
神奈川工科大学 電気電子工学科
-
野毛 悟
沼津工業高専電気電子工学科
-
野毛 悟
沼津工業高専 電気電子工学科
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