US2000-32 / EMD2000-28 / CPM2000-43 / OME2000-38 超音波センサの光アクセス化に関する一検討
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概要
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著者らは光アクセス超音波センサを提案し、シミュレーションによる感度の解析を行っている。今回、この方式に用いる弾性波励振用の光電変換素子として、ショットキバリアダイオード(SBD)を検討した。実験に際してSBDの電極寸法、基板の厚さ等を変更したサンプルを作製した。実験の結果、作製したSBDは20MHzの強度変調光に対して応答が得られ、MCFを用いた測定により、励振パワーは数μW程度と推定される。この結果、SBDの構造を最適化することにより、10μW以上の励振パワーが得られる可能性があることがわかった。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-30
著者
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