CS-6-6 シリカ系誘電体超構造薄膜の諸特性(CS-6.ナノデバイスのための薄膜・材料技術-有機と無機/金属から絶縁体-あらゆる可能性を求めて,エレクトロニクス2)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-09-07
著者
-
野毛 悟
神奈川工科大学
-
野毛 悟
沼津工業高等専門学校電気電子工学科
-
宇野 武彦
神奈川工科大
-
霧島 寛崇
神奈川工科大学工学部電気電子工学科
-
藤塚 俊
神奈川工科大学 電気電子工学科
-
藤塚 俊
神奈川工科大学電気電子情報工学科
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