C-6-6 シリカ系誘電体超格子薄膜の圧電特性(C-6. 電子部品・材料, エレクトロニクス2)

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2005-03-07

著者

• 野毛 悟

  神奈川工科大学

• 宇野 武彦

  神奈川工科大

• 霜鳥 寛崇

  神奈川工科大学 電気電子工学科

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