光-弾性波複合センサの検討(圧電デバイス・材料,強誘電体材料,有機エレクトロニクス,一般)
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概要
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著者らは外部電源を必要としない無給電型の光-弾性波複合センサについて検討し、個別の光部品で構成したマッハツェンダー干渉計(MZI)を用いた振動子の周波数検出実験を行ってきた。センサの感度及び安定性の向上には、光回路の集積化が不可欠である。感度と安定性の向上をめざし、モノリシックに集積化した振動子を組み込んだMZIに光ガイドを付加する回路を検討し、振動子の共振周波数が明確に検出できることを示した。さらに、光の干渉計測を用いた振動子の周波数測定において、最大の測定感度を得る光路差θ=±π/2とするために、半導体レーザーの発光波長を可変する方法の有効性について検討した。
- 2003-06-27
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