金属元素をドープした石英ガラスの紫外光励起よる発光特性の検討(簿膜プロセス・材料,一般)
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概要
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4価元素を添加した石英(SiO_2ガラス)薄膜では,分極に伴う圧電性や焦電性の発現のほか,紫外光照射による可視光のルミネセンスが観測されている.筆者らは,石英薄膜にドープする金属元素と発光色に関する検討を行った.金属元素のドーピングは熱拡散によって行い,紫外線の吸収や可視光スペクトルについて実験的な検討を行った.ガラス薄膜の形成にはRFマグネトロンスパッタリング法を用いた.254nmの紫外光を照射すると,GeやSnを熱拡散によりドープしたガラス薄膜においては,従来から検討してきたスパッタ成膜による場合と同系統の可視光を確認できた.これまで検討していなかったCuをドープすることにより,新たに黄緑を発光することが分かった.これらのことから,石英薄膜をべ一スとした金属元素ドープによるシ石英ガラス薄膜は新しい光デバイスの材料として期待できる.
- 2013-10-17
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