4価元素をドープした石英ガラス薄膜の圧電性と可視発行
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概要
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Piezoelectricity was produced in silica films with tetravalent metal dopants by poling. Tetravalent-metal-dopedSiO2 (M4+:SiO2) films were prepared on Si substrates by RF magnetron sputtering. We used germanium, titanium,and tin as doping materials. The piezoelectricity of the films was compared with the piezoelectricity of quartz.Piezoelectricity of the same order of magnitude as that in quartz was observed in the M4+:SiO2 films. However, lessthan a week later, the piezoelectricity disappeared almost completely in all the samples. We developed a pinningtechnique of the film. This structure was very effective in preventing the piezoelectricity from disappearing.Furthermore, broad band visible light emission was observed in the proposed super-lattice film.
- 沼津工業高等専門学校の論文
- 2009-01-31
著者
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