Impact of fully depleted silicon-on-insulator accumulation-mode CMOS on Si(110) (シリコン材料・デバイス)
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概要
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This paper demonstrates the characteristic of Accumulation-mode Fully Depleted Silicon-On-Insulator (Acc-FD-SOI) MOSFETs fabricated on Si(110). Acc-FD-SOI-nMOSFET's current drivability is 1.2 times higher than conventional Inversion-mode Fully Depleted Silicon-On-Insulator (Inv-FD-SOI) MOSFETs. The current drivability of nMOSFET and pMOSFET is perfectly equavelent by implementing Accumlation-mode device structure to nMOSFETs on Si(110). A novel CMOS inverter consisted of Inversion-mode pMOSFET and Accumulation-mode nMOSFET shows good characteristic and occupy only half of the area on silicon compared to conventional inverter fabricated on Si(100).
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-10-02
著者
-
TERAMOTO Akinobu
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
-
大見 忠弘
東北大学
-
SUGAWA Shigetoshi
Graduate School of Engineering, Tohoku University
-
OHMI Tadahiro
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
-
Teramoto A
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
-
Sugawa S
Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Ohmi Tadahiro
Department Of Electronic Engineering Tohoku University
-
Ohmi Tadahiro
The New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University
-
Tye Ching
Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
CHENG Weitao
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
-
Cheng Weitao
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
-
Ohmi T
Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn
-
SUGAWA Sigetoshi
Tohoku University
-
Teramoto Akinobu
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
-
Teramoto Akinobu
Department Of Electronic Engineering Faculty Of Engineering Tohoku University
-
Sugawa Shigetoshi
Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Sugawa Shigetoshi
Department Of Electronic Engineering Tohoku University
-
Ohmi Tadahiro
New Industry Creation Hatchery Center Future Information Industry Creation Center Tohoku University
-
Teramoto Akinobu
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku Univ.
-
Teramoto Akinobu
University Of Tohoku New Industry Creation Hatchery Center (niche)
-
Ohmi Tadahiro
New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University
-
Teramoto Akinobu
New Industry Creation Hatchery Center (NICHe), Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan
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