電流駆動シリサイデーションを用いたアンチフューズ技術
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概要
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高速なフィールドプログラマブルデバイスを実現するための低抵抗なアンチフューズ技術を開発した。金属, アモルファスシリコン/金属構造において、電流駆動によるシリサイド化(CDS)を用いることで1つのアンチフューズの書き込みを2nsec以内に終了し、書き込み後の抵抗を150Ω以下に抑えることが可能であることを確認した。また書き込み後の抵抗は、書き込み時の低抗の増加に伴って減少し、電流値のほぼ1.6乗に反比例する事を確認した。この技術は、省電力で高速動作可能なFPGAやPROMなどのフィールドプログラマズルデバイスを実現するために必須の技術である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-07-27
著者
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