極微量表面吸着水分の精密計測技術
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概要
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空気にさらされたシリコン表面や装置内表面にどれだけの水分が吸着するのかは長い間の懸案事項であった。吸着水分を無水フッ化水素酸で取り去り電気伝導度から水分量を計測した。1秒以上表面を空気に曝すと、表面には平衡状態の水分が吸着し、その量は2.5〜3.0×10^16>分子, cm^2であった。この様な膨大な量の吸着水分は表面状態にかかわらず同じ量が吸着し、吸着脱離の活性化エネルギーはどれも0.12eVであった。1分子層以下の吸着水分は表面状態固有の吸着量・活性化エネルギーを持っていることも明らかとなった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-08-17
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