高性能減圧プロセス用真空排気システムの最適設計

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
減圧プロセスに用いている超高真空用ポンプの排気口側からチャンバー側への逆拡散が、実験的に明らかになった。つまり、大量のプロセスガスによるガス負荷のため、超高真空用メインポンプはその不純物排気能力が劣化し、結果としてプロセスチャンバーへの逆拡散を引き起こしてしまうのである。この劣化の度合いは、メインポンプの2次側を排気するバックポンプの能力に大きく依存していることが分かった。さらに、我々はこの実験から、導入するプロセスガスの流量を最適に制御することにより、メインポンプは性能以上の不純物排気能力を発揮することを初めて発見した。実験データに基づき、真空排気システムの最適化設計について議論を行う。
社団法人電子情報通信学会の論文
1994-08-17

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク