電子デバイス製造用クリーンルームにおける室内系統水噴霧加湿の研究 : 第1報-省エネルギー効果の検証
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概要
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半導体やFPD(Flat Panel Display)等の電子デバイス製造用クリーンルームにおいて導入外気の加湿は外気調和機における一括加湿方式が主流であり,そこでは蒸気等の温熱が多量に消費される.この温熱負荷削減のため様々な熱回収システムが実用化されているが効果が高いものほど大がかりで,新設工場には良いが既存工場への追加導入は難しい.本報では既存工場に対する冬期の省エネルギー設備として,室内系統に水噴霧加湿を導入することを提案し,そのエネルギー削減効果について試算をする.代表的と考えられるモデルを提示し,エネルギー削減量と排出CO_2削減量を検討することによって,室内系統水噴霧加湿方式の有効性を明らかにした.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2008-03-05
著者
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
飯嶋 和明
三機工業(株)エネルギーソリューションセシター
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
高橋 研
東北大学工学研究科電子工学専攻
-
植村 聡
東北大学工学部電子工学専攻
-
鈴木 康司
三機工業(株)技術開発本部
-
高橋 研
東北大学工学部電子工学専攻
-
鈴木 康司
三機工業
-
Ohmi Tadahiro
Department Of Electronic Engineering Tohoku University
-
Ohmi Tadahiro
The New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University
-
飯嶋 和明
三機工業(株)
-
飯嶋 和明
三機工業
-
Ohmi T
Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn
-
飯嶋 和明
三機工業(株)技術開発本部
-
大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
-
鈴木 康司
三機工業(株)
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