低速陽電子ビームを用いたCu/low-k配線構造中の欠陥検出

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概要

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• 2010-01-29

著者

• 上殿 明良

  筑波大学物理工学科

• 吉丸 正樹

  半導体理工学研究センター

• 大島 永康

  産業技術総合研究所

• 林 喜宏

  半導体MIRAI-ASET

• 中村 友二

  半導体理工学センター(starc)

• 井上 尚也

  半導体理工学センター(STARC)

• 林 喜宏

  半導体理工学センター(STARC)

• 江口 和弘

  半導体理工学センター(STARC)

• 廣瀬 幸範

  半導体理工学センター(STARC)

• 大島 永康

  産業総合技術研究所計測フロンティア研究部門

• 大平 俊行

  産業総合技術研究所計測フロンティア研究部門

• 鈴木 良一

  産業総合技術研究所計測フロンティア研究部門

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